Filmes de carbono na produção de chips
Novo processo de obtenção de filmes de carbono do tipo diamante, conhecido pela sigla em inglês DLC, de Diamond Like Carbon, desenvolvido pela Escola Politécnica da Universidade de São Paulo (USP) em parceria com a Escola de Engenharia de São Carlos da mesma instituição, promete facilitar a fabricação de microdispositivos eletrônicos. O filme de carbono é fabricado em condições mais favoráveis, no âmbito técnico e econômico, de temperatura, de potência e de vácuo que os processos mais antigos.
São filmes usados atualmente em revestimentos de várias peças metálicas e plásticas que ficam assim mais duráveis e protegidas de qualquer ação externa, química ou física. Eles também protegem vidros e lentes contra riscos. Outra recém-aplicação para os filmes de carbono produzidos com essa nova técnica é a incorporação de filmes de DLC em máscaras holográficas para a fabricação de dispositivos microeletrônicos à base de silício (chips ). Com isso é possível melhorar a produção dessas peças porque essa máscara controla totalmente a luz, deixando passar o feixe de luz ultra-violeta somente nas regiões em que se deseja esculpir as estruturas do dispositivo e melhorando o controle da micro e nanousinagem.
Título: Filmes de carbono tipo diamante (DLC – Diamond Like Carbon) para aplicações ópticas, aeronáuticas e mecânicas
Inventores: Ronaldo Domingues Mansano, Luiz Gonçalves Neto, Patrick Verdonck, Giuseppe Cirino e Luiz Zambom
Titularidade: FAPESP/USP
